SE-3 型太阳能电池刻蚀机主要用于对太阳能电池硅片周边扩散层进行刻蚀。它通过射频电源辉光放电，使反应气体 ( 如SF₆、CF₄等)离解成活性原子，与硅片中的Si 等进行反应，生成挥发性产物（如SiF₄等），该产物被真空泵抽走，从而达到刻蚀的目的。目前，它已成为太阳能电池和光电子领域科研和生产不可缺少的设备。

     本刻蚀机具有单步和自动两种工作状态无扰动切换功能：在单步状态下能单独完成充气、开盖、关盖、抽真空、通入反应气体、启辉、清洗等功能，并具有自动保护功能；在自动状态下能完成除了装片和卸片以外的全部生产过程的连续动作和自动保护等功能。具有良好的人机界面。

    本机可稳定地用于大规模生产线。

    本机最大的优点是硅片边沿钻蚀很小，致使太阳电池的转换效率得以提高、且一致性好！

        SE-3型太阳能电池刻蚀机的配置及性能如下：

                一、配置：

              1、平板式反应室系统1套；

  1          2、机械泵1个，用于抽真空系统；

              3、射频电源一套，带正向功率和反射功率计指示，带匹配器；

              4、西门子公司的可编程序控制器PLC一套；

              5、西门子公司的触摸屏一套，能够与PLC通信并控制刻蚀系统；

              6、质量流量计1个；气路2路（可增选）。

                二、性能：

        1、刻蚀对象：单晶硅太阳能电池硅片、多晶硅太阳能电池硅片等；

        2、一次能刻蚀300~500片160×160 mm²或125×125 mm²厚度为0.3~0.2mm的方片；

        3、射频功率：13.56 MHz，100～500 W可调；

        若用于有其他特殊要求，可另协商！以合同为准。

        设备照片如下：

SE-3型太阳能电池刻蚀机