微电子设备开发部

                

 

 

    中国科学院微电子研究所是国内最早开展亚微米微细加工技术研究的单位,在该领域一直坚持自主创新、技术领先和质量第一的宗旨。从八十年代末期开始,致力于深亚微米及纳米超微细加工技术以及硅和化合物半导体器件及工艺研究。  详细部门介绍请点击此处

 

  我们的理念:

  走精品路线,架友谊桥梁!产品要优质,服务要尽心!  

    本部门生产以下三种系列产品:刻蚀机、溅射台和PECVD机。详细产品介绍请点击此处或下图名称。

  

 

 

ME-3A/6A型磁增强反应刻蚀机 ICP-98A型等离子体刻蚀机 ICP-98C型等离子体刻蚀机

ICP-8A型自动刻蚀机

SP-6A型磁控溅射台

SP-8A磁控溅射台

HQ-2PECVD HQ-8A自动PECVD HQ-8B自动PECVD

联系方式:

电话: 86-10-62049399,82995592,82995899,82995758

 

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上次修改时间:20121010