微电子设备开发部

                

　

　

　

　

　

　

　

　

　

    中国科学院微电子研究所是国内最早开展亚微米微细加工技术研究的单位，在该领域一直坚持自主创新、技术先进和质量第一的宗旨。从八十年代末期开始，致力于深亚微米及纳米超微细加工技术以及硅和化合物半导体器件及工艺研究。  详细部门介绍请点击此处。

　

  我们的理念：

    走精品路线，架友谊桥梁！

　

    本部门生产以下三种系列产品：刻蚀机、溅射台和PECVD机。详细产品介绍请点击此处。

    (点击左侧竖条可分别了解各种机器的详情)

　

　

ME-3A型磁增强反应离子刻蚀机

ICP-98A型等离子体刻蚀机

ICP-98C型等离子体刻蚀机

SP-2型磁控溅射台

SP-3型磁控溅射台

SE-3型太阳能电池刻蚀机

　

HQ-2型PECVD

HQ-3型PECVD

 　

联系方式：

电话  86-10-62049399，82995592，82995683，82995682

　

传真  86-10-64038729

　

邮政地址

北京市朝阳区北土城西路3号微电子大厦A座103室，100029

电子邮件

一般信息：  xcliu@ime.ac.cn
销售：      zhangyusheng@ime.ac.cn
客户支持：  libing212@ime.ac.cn 
站点管理员：zhangyusheng@ime.ac.cn

　

    欢迎来电来函咨询！
　

                                                                          

　

地  址：北京市朝阳区北土城西路3号微电子大厦A座103室，    邮  编：100029  

联系人： 刘训春 (Tel: 010-62049399, 82995592，Email: xcliu@ime.ac.cn )，

                  张育胜 (Tel: 010-82995683, 82995682， Email: zhangyusheng@ime.ac.cn )

传  真：010－64038729

网  址：http://kw305.51.net/    

　

如有关于本站点的问题或建议，请向zhangyusheng@ime.ac.cn发邮件。
版权所有(C) 2006~2008 Institute of MicroElectronics,Chinese Academy of Science
上次修改时间：2008年4月23日